Strumenti di deposizione e incisione - Tecnologia al plasma - PlasmaPro 100 PECVD Cluster

Strumenti di produzione da cassetta a cassetta PlasmaPro 100 Cobra raggruppato utilizzando un manipolatore robotico a 7 vie Moduli di processo batch da 200 mm e piattaforme di strumenti che offrono un'eccellente uniformità e un elevato throughput su una gamma di applicazioni, sia come sistemi autonomi che come sistemi cluster. Le piattaforme possono essere raggruppate per combinare tecnologie e processi con opzioni di caricamento a cassetta o a singolo wafer. Sono disponibili configurazioni della camera di trasferimento esagonali o quadrate. ** Clicca per richiedere un prezzo **