Deposizione di Film Sottile - STM-2XM

OPERAZIONE SEMPLICE PER MOLTE APPLICAZIONI STM-2XM è un monitor di tasso/spessore a due canali che combina alta precisione con programmazione flessibile e facile operazione a un prezzo accessibile. STM-2XM è dotato di cinque modalità operative per adattarsi a processi da semplici a complessi. Ad esempio, utilizza la modalità semplice per monitorare un singolo sensore per il processo più semplice o utilizza la modalità lega per il monitoraggio della co-deposizione. La modalità indipendente consente a STM-2XM di funzionare come due monitor completamente separati. Due ingressi per sensori consentono l'uso di due sensori singoli o di un sensore a cristallo di quarzo duale. Vengono effettuate 10 misurazioni al secondo, raggiungendo una risoluzione di 0,037 Å per misurazione (densità di 1). RICCO DI FUNZIONALITÀ STM-2XM ha otto ingressi digitali programmabili, otto uscite digitali programmabili e quattro uscite analogiche, consentendo un livello di integrazione solitamente riservato a strumenti più costosi. Le funzionalità programmabili includono ritardo dell'otturatore, monitoraggio del tempo/potenza e campionamento del tasso. Usa... Sensori compatibili: Sensore singolo/otturato singolo o sensore QCM duale Ingressi per sensori: Due Intervallo di frequenza di misurazione: 6,0 a 5,0 MHz (fisso) Risoluzione di frequenza: ±0,03 MHz a 6 MHz Stabilità della frequenza di riferimento: ±2 ppm Risoluzione/ misurazione di spessore e tasso: ±0,037 Å @ attrezzatura/densità = 100/1, frequenza fondamentale = 6 MHz Intervallo di misurazione: 0,10 s Film memorizzati: 15 Modalità di visualizzazione: Spessore/Massa Ingressi digitali: Otto Uscite digitali: Otto Uscite analogiche: Quattro Valutazione dell'uscita analogica: 0 a +/-10 V, 10 mA Valutazione del relè: Fino a 48 V (dc) • V (ac), 2A Requisiti di alimentazione: 120/240, 50/60 Hz, 2,5 VA